このたび、高粘度薬液の吐出に対応した「高耐圧ポンプシリーズ」を新たに発売いたします。

本シリーズは、コガネイ独自のチューブフラム構造を活かしながら耐圧性能を向上。
最大吐出圧力0.5MPaまで対応し、ポリイミドなどの高粘度薬液の吐出や、配管抵抗が大きい用途にも適しています。

また、優れた気泡排出性・液置換特性・低パーティクル構造を維持し、高精度な吐出を実現します。

半導体製造工程におけるウェハへの塗布をはじめ、薬液の充填・計量・混合など、高い繰返し精度や直線性が求められる用途にご使用いただけます。

詳細につきましては、製品カタログをご覧ください。