高精度定量吐出性能と高精度定流量性能に高耐圧をプラスしたＦＰＤプロセス用 電動高耐圧ポンプ ＡＣサーボモータ仕様 F-EPHシリーズ登場！！ 脈動の少ないレジスト塗布が可能です。 スリット塗布に最適な性能を実現しました！

電磁弁Ｆシリーズ(F10・F15)のシリアル伝送対応マニホールドにEtherNet/IP(イーサネットIP)対応タイプを新たに発売。 ・通信ネットワークをイーサネットで統一！ ・１６点出力/３２点出力タイプを用意。 ・多 […]