高精度定量吐出性能と高精度定流量性能に高耐圧をプラスしたＦＰＤプロセス用 電動高耐圧ポンプ
ＡＣサーボモータ仕様 F-EPHシリーズ登場！！

脈動の少ないレジスト塗布が可能です。
スリット塗布に最適な性能を実現しました！